貴金属めっきが施される部分は、ますます小さくなっています。当社にはめっき皮膜の膜厚、表面や断面の高分解能観察はもとより、電気接点としての接続信頼性や電気抵抗性などの評価装置を揃えております。
ICP発光分光分析装置
めっき液などの溶液中の微量不純物の定量分析に使用します。高温プラズマ中で試料がイオン化されるので、共存元素の影響を受けにくく、ppm単位で定量できます。また、分析可能な元素が多いのも特徴です。
| 名称 |
マルチチャンネル型ICP発光分光分析装置（ICP-OES） |
| メーカー |
日立ハイテクサイエンス |
| 型式 |
SPECTRO ARCOS |
| 機能 |
液体試料中の金属濃度測定 |
| 台数 |
1台 |
高速液体クロマトグラフ
めっき液の不純物や成分の分析に使用します。めっき液を含む混合試料を固定相カラムに通液させることでカラムとの相互作用の違いにより各成分が分離されます。
| 名称 |
高速液体クロマトグラフ（HPLC） |
| メーカー |
島津製作所 |
| 型式 |
Prominence |
| 機能 |
液体試料中の各種成分濃度測定 |
| 台数 |
1台 |
キャピラリー電気泳動分析装置
めっき液の不純物や成分の分析に使用します。めっき液を含む混合試料をキャピラリー管中で通電させることで、泳動速度の違いにより各成分が分離されます。
| 名称 |
キャピラリー電気泳動システム（CE） |
| メーカー |
アジレント |
| 型式 |
Agilent7100 |
| 機能 |
溶液中の成分分析 |
| 台数 |
1台 |
卓上型ワイヤーボンダー
17～75μm径の金銀・アルミ線・銅線を半導体部品に接続する装置です。ウェッジボンドとボールボンドの切り替えが可能なため、多様な部品の試験に対応できます。
| 名称 |
卓上型ワイヤーボンダ― |
| メーカー |
TPTジャパン |
| 型式 |
HB16 |
| 機能 |
Au線、Pd被覆Cu線、Al線を用いたワイヤーボンディング |
| 台数 |
1台 |
万能型ボンドテスター
基板上に接合したはんだボールやボンディングワイヤーの接合強度・破断モード解析を行います。はんだボールは各種サイズに対応しており、プル試験・シェア試験が可能です。
| 名称 |
万能型ボンドテスター |
| メーカー |
ノードソン・アドバンスト・テクノロジー |
| 型式 |
4000optima |
| 機能 |
ボールプル、ボールシェア |
| 台数 |
1台 |
電界放出形走査電子顕微鏡
試料表面の微細構造の観察に使用します。2次電子、反射電子の他、EDX検出器も搭載しています。貴金属めっきの数十ナノメートルオーダーの表面観察、集束イオンビームで加工しためっき断面の元素分析も可能です。
| 名称 |
電界放出形走査電子顕微鏡 |
| メーカー |
日立ハイテク |
| 型式 |
Regulus8230 |
| 機能 |
表面形状観察、組成分布分析、元素分析（備付EDS装置による） |
| 台数 |
1台 |
複合ビーム加工観察装置
集束イオンビーム加工と電子顕微鏡観察の機能を併せ持つ装置です。イオンビームで試料表面をエッチングすることで微細加工を行い、電子顕微鏡で試料の断面構造の観察を行います。様々な試料の微小領域の断面構造の確認に使用されます。
| 名称 |
複合ビーム加工観察装置（FIB-SEM/SIM） |
| メーカー |
日本電子 |
| 型式 |
JIB-4700F |
| 機能 |
カーボン・タングステンの成膜
微細加工
電子顕微鏡観察・イオン顕微鏡観察
元素分析
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| 台数 |
1台 |
オージェ分光分析装置
試料最表面の数ナノメートルの元素分析に使用します。アルゴンスパッター装置を搭載しており、マイクロメーターレベルの深さ分析も可能で、下地金属の拡散や微量付着物の測定などに有効です。
| 名称 |
走査型オージェ電子分光分析装置（AES） |
| メーカー |
アルバック・ファイ |
| 型式 |
PHI 4800 |
| 機能 |
試料表面の元素分析
深さ方向の元素分布測定 |
| 台数 |
1台 |
その他装置
| 蛍光X線分析装置 |
X線回折装置 |
リフローはんだ付け装置 |
| 紫外可視分光光度計 |
フーリエ変換赤外分光光度計 |
微小硬度計 |
| 電気接点シミュレーター |
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